ЕФЕКТИВНІ НАНОСТРУКТУРНІ БАГАТОШАРОВІ ПОКРИТТЯ ДЛЯ РІЖУЧИХ ІНСТРУМЕНТІВ І ДЕТАЛЕЙ МЕДИЧНОГО ПРИЗНАЧЕННЯ, що ПРАЦЮЮТЬ В ДИНАМІЧНОМУ РЕЖИМІ

А.А. Андрєєв, Г.І. Костюк, М.О. Мінаєв

Показано, що максимальна залишкова напруга стискування в багатошаровому покритті TiN – Ti складають більше 7,5 ГПа (енергія іонів 200 ЕВ), а наближаються до 7 ГПа при енергії 70 ЕВ, що підтвержується теоретичними результатами. У багатошаровій системі TiN – Ti при шарі титану менше 120 нм досягаються високі: мікротвердість Н = 35–36 ГПа і індекс пластичності Н/Е 0,11...0,12. Товщина шарів Ti більше 30 нм виявляється достатньою, щоб розвиток напружений-деформованого полягання в шарах TIN проходіло без їх істотної релаксації. Проведений аналіз впливи на структуру, пружно напружений-деформований стан і механічні характеристики багатошарової системи TiN – Ti, товщину Ti підшару (у інтервалі 30–250 нм) і величини потенциала зсуву (U_п)

Ключові слова: метод рентгенівської тензометрії, мікротвердість, еволюційні методи, вакуумно-дугові покриття, макронапруги стискування.