Эффективные наноструктурные многослойные покрытия для режущих инструментов и деталей медицинского назначения, работающих в динамическом режиме

А.А. Андреев, Г.И. Костюк, Н.А. Минаев

Показано, что максимальные остаточные напряжения сжатия в многослойном покрытии TiN–Ti составляют более 7,5 ГПа (энергия ионов 200 эВ), а приближаются к 7 ГПа при энергии 70 эВ, что подтверждается теоретическими результатами. В многослойной системе TiN–Ti при слое титана менее 120 нм достигаются высокие: микротвердость Н = 35–36 ГПа и индекс пластичности Н/Е 0,11…0,12. Толщины слоев Ti более 30 нм оказывается достаточной, чтобы развитие напряженно-деформированного состояния в слоях TiN проходило без их существенной релаксации. Проведён анализ влияния на структуру, упруго напряженно-деформированное состояние и механические характеристики многослойной системы Ti–TiN, толщины Ti подслоя (в интервале 30–250 нм) и величины потенциала смещения (U_п)

Ключевые слова: метод рентгеновской тензометрии, микротвёрдость, эволюционные методы, вакуумно-дуговые покрытия, макронапряжения сжатия