МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ ПРОЦЕСІВ В ІНДУКЦІЙНИХ ВИСОКОЧАСТОТНИХ ДЖЕРЕЛАХ ПЛАЗМИ І ЕЛЕКТРОНІВ

А.В. Лоян, С.Ю. Нестеренко, Ш. Рошанпур, О.І. Цаглов

В наближенні однокомпонентної магнітної гідродинаміки представлено математичну модель процесів в індукційних високочастотних джерелах плазми і електронів. Рівняння записано у двовимірній формі в представленні про аксіальну симетрію задачі. Перенос імпульсу описано рівнянням в'язкості, в якому враховано вплив магнітного поля на дисипативні процеси у розрідженому середовищі. Наведено попередні оцінки глибини магнітного скін-шару і шару струму. Сформульовано граничні умови, які описують потоки часток, імпульсу і енергії на поверхні пристрою.

Ключові слова: ВЧ-іонізація, джерело плазми, джерело електронів.