МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ ПРОЦЕСІВ В ІНДУКЦІЙНИХ ВИСОКОЧАСТОТНИХ ДЖЕРЕЛАХ ПЛАЗМИ І
ЕЛЕКТРОНІВ
А.В. Лоян, С.Ю. Нестеренко, Ш. Рошанпур, О.І. Цаглов
В наближенні однокомпонентної магнітної гідродинаміки представлено математичну
модель процесів в індукційних високочастотних джерелах плазми і електронів.
Рівняння записано у двовимірній формі в представленні про аксіальну симетрію задачі. Перенос імпульсу описано рівнянням в'язкості, в якому враховано вплив
магнітного поля на дисипативні процеси у розрідженому середовищі. Наведено
попередні оцінки глибини магнітного скін-шару і шару струму. Сформульовано
граничні умови, які описують потоки часток, імпульсу і енергії на поверхні
пристрою.
Ключові слова: ВЧ-іонізація, джерело плазми,
джерело електронів.